(1) PVD-den öňki bejergi, zatlary arassalamak we deslapky bejergini goşmak bilen.Cleaningörite arassalaýyş usullary ýuwujy serişdeleri arassalamak, himiki erginleri arassalamak, ultrases sesini arassalamak we ion bombasyny arassalamak ýaly usullary öz içine alýar.
(2) Wakuum kamerasyny arassalamak we gurnamak, zatlary we enjamlary gurnamak, işe girizmek we birikdirmek ýaly peje salyň.
(3) Wakuum, adatça 6.6Pa ýa-da ondanam köp nasos, wakuum nasosyny saklamak we diffuziýa nasosyny gyzdyrmak üçin diffuziýa nasosynyň öň tarapyny açyň.Gyzdyryş ýeterlik bolansoň, ýokary klapan açylýar we diffuziýa nasosy bilen 6 x 10-3 Pa ýarym aşaky vakuuma geçirilýär.
(4) Harytlary islenýän temperaturada bişirmek, bişirmek.
.
.Buglanýan çöketlik.Buglanma toky, islenýän çöketlik wagty gutarýança talap edilýär.Sowadylanda, zatlar vakuum kamerasynda belli bir temperaturada sowadylýar.
.